硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括 甲硅烷( SiH ₄) 、 乙硅烷( Si ₂H ₆) 和一些更高级的硅氢化合物，通式为Si _nH _{2 n +2}。其中，甲硅烷最为常见，有时也将甲硅烷简称为硅烷。