乙硅烷是一种无机化合物，化学式为H ₆Si ₂，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与六氟化硫接触则爆炸。