殷僧首， 南北朝时期陈朝司农卿、光禄大夫 殷不害之子。本居陈郡长平（今河南西华），陈朝灭亡后，徙居关中雍州鄠县（今陕西户县）。仕隋朝，任秘书丞，在当时很有名气。其子 殷峤为唐初 凌烟阁二十四功臣之一。