电子直线加速器，电子直线加速器是带电粒子加速器的一种，它是利用高微波功率在行波、驻波加速结构中建立纵向电场对电子束进行加速的一种谐振式加速器。

根据微波的类型可分为行波和驻波型电子直线加速器，其电子能量一般都较高（大于5MeV），输出功率在几kW到几十kW，在辐射加工安全许可范围内，高能（大于5MeV）电子对被照射物具有最深的有效穿透，因而得到广泛利用。