电子束胶对电子束可感光，聚甲基丙烯酸甲酯是使用得最多的电子束胶，但是聚甲基丙烯酸甲酯在应用时存在缺点，例如抗刻蚀能力差，粘合性差，耐酸碱性和耐温性差。  

电子束胶及电子束曝光在先进微纳结构的前沿开发中广泛应用，国内电子束光刻胶主要供应商来自国外，国内也有企业已经成功开发出多系列电子束光刻胶。