扫描振镜其专业名词叫做高速扫描振镜Galvo scanning system。所谓振镜,又可以称之为电流表计,它的设计思路完全沿袭电流表的设计方法,镜片取代了表针,而探头的信号由计算机控制的-5V—5V 或-10V-+10V 的直流信号取代,以完成预定的动作。同转镜式扫描系统相同,这种典型的控制系统采用了一对折返镜,不同的是,驱动这套镜片的
步进电机被
伺服电机所取代,在这套控制系统中,
位置传感器的使用和负反馈回路的设计思路进一步保证了系统的精度,整个系统的扫描速度和
重复定位精度达到一个新的水平。